PHI公司的PHI 710俄歇電子能譜儀是一臺設計高性能的俄歇電子能譜（AES）儀器。該設備能分析納米級特征區域,超薄薄膜和多層結構表界面的元素態(tài)和化學(xué)態(tài)信息。